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    Park NX10 帕克原子力顯微鏡

    核心參數

    • 儀器種類 原子力顯微鏡
    • 樣品臺移動范圍20mm*20mm
    • 樣品尺寸直徑≤50mm, 厚度≤20mm
    • 定位檢測噪聲X-Y≤0.25nm, Z≤0.03nm
    • 產地類別 進口儀器

    Park帕克原子力顯微鏡

    • 營業執照已審核
    • 品牌性質生產商
    • 銀牌會員第5年
    • 信用積分1302
    • 反饋速度21-24小時
    • 同類儀器12臺
    400-860-5168轉3445 儀器信息網認證,請放心撥打

    產品介紹

    納米科學研究的最佳途徑

    Park NX10為您帶來最高納米級分辨率的數據,值得您信賴、使用和擁有。無論是從樣品設定還是到全掃描成像、測量與分析,Park NX10都可以在保證您專注于創新研究工作的同時提供高精度的數據。

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    Park SmartScan 智能模式

    在SmartScan Auto獨有的智能模式下,系統自動執行所有必要的成像操作,同時智能選擇最佳的圖像質量和掃描速度。這是通過Park的專利技術才得以實現的。它不僅可以為用戶節省時間和成本,還可以為用戶帶來最好的研究成果。

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    Park消除串擾技術

    Park NX10可以為用戶帶來最高納米級分辨率的數據,它是全球唯一一個實現真正非接觸模式的原子力顯微鏡,在延長探針使用壽命的同時,還可以良好地保護樣品不受損壞,延長樣品的使用壽命。可彎曲的獨立的XY和Z掃描儀可帶來超強精確度和分辨率。

    afm-modes-thum.jpg

    Park先進的原子力顯微鏡模式

    Park原子力顯微鏡具有綜合的掃描模式,可幫助用戶準確有效地收集各種數據類型。

    NX10EquippedWithTheMostInnovativeAFMTechnology.jpg

    1.        掃描范圍為50 μm x 50 μm 的2D掃描器

    XY軸掃描器有對稱的二維高強度壓電疊堆。它可為進行精確的納米級樣品掃描,提供基本的面外高效正交運動和高響應能力。Park NX10的這種緊密剛硬的構造具備低噪聲高速的伺服響應能力。

          

     2. 高速Z軸掃描器,掃描范圍達15 μm

    借助高強度壓電疊堆和撓性設計,標準Z軸掃描器的共振頻率高達9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸最大掃描范圍可從標準的15 μm擴展至30 μm(可另選Z掃描頭)。

          

     3. 低噪聲XYZ位置傳感器

    行業領先的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

     

     

    4.   驅動XY軸樣品臺

    XY軸樣品臺是驅動化的,以便于將樣品導航并定位到掃描區域。這種驅動臺在這兩個軸上的分辨率同為0.6um(使用微步)

     

    5. 自動步進掃描

     

    借助驅動樣品臺,步進掃描可編程多區域成像,以下是它的工作流程:

    1.   掃描成像

    2.        抬起懸臂

    3.        移動驅動平臺到設定位置

    4.        進針

    5.        重復掃描 該自動化功能可大大減少掃描過程中手動需求,從而很大程度上提高生產力。

    操作方便的樣品臺

    6.        Park NX10的獨特頭部設計可使用戶從側面操作樣品和探針,用戶在樣品臺上可放置的最大樣品體積為50mm× 50mm×20mm(長×寬×高)。

     

    7.        高級掃描探針顯微鏡模式和選項的擴展槽

    只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設計,其生產線設備兼容性得到大大提高。

     

     

    8.        結合了集成LED照明的同軸高倍顯微鏡

    超長工作距離的定制物鏡(工作距離50mm, 數值孔徑0.21,分辨率1.0 μm )帶來前所未有的鏡頭清晰度。直視同軸設計使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標區域。EL20x的長行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7 μm的高分辨率。

     

     

    9.        滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

    您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置,同時與復位精度為幾微米的電路系統相連接。借助于相關性低的SLD,顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。

     

     

    10.    垂直調節驅動的Z平臺和聚焦平臺

    驅動Z平臺和驅動聚焦平臺可使懸臂檢測樣品表面并為用戶持續提供清晰的圖像。用戶通過軟件界面進行操控,由高精度步進電機帶動,即使是透明樣品或液池應用中都可簡單操作。

     

    多種選擇Option

     

    NX系列有適合大眾化的各種掃描模式,能滿足您的所有研究需求。

     

    標準成像

    - 真正的非接觸模式 AFM 

    - 接觸模式AFM

    - 側向力顯微鏡 (LFM)

    - 相位成像

    - 間歇式(輕敲式)AFM

     

    電性能

    - 導電AFM

    - I-V譜線

    - 掃描開爾文探針顯微鏡 (SKPM/KPM)

    - 高電壓SKPM

    - 掃描電容顯微鏡 (SCM)

    - 掃描電阻顯微鏡 (SSRM)

    - 掃描隧道顯微鏡 (STM)

    - 掃描隧道光譜 (STS) 

    - 時間分辨的光電流測繪 (Tr-PCM)

     

    Magnetic Properties  磁性能

    - 磁力顯微鏡 (MFM)

    - 可調外加磁場MFM

     

    化學性能

    - 功能化探針的化學力顯微鏡

    - 電化學顯微鏡(EC-STM和EC-AFM)

     

    熱性能

    - 掃描熱感顯微鏡(SThM)

     

    光學性能

    - 探針增強拉曼光譜 (TERS)

    - 時間分辨的光電流測繪 (Tr-PCM)

     

    介電/壓電性能

    - 靜電力顯微鏡 (EFM)

    - 動態接觸式靜電力顯微鏡(DC-EFM)

    - 壓電力顯微鏡 (PFM)

    - 高電壓PFM

     

    機械性能

    - 力調制顯微鏡 (FMM)

    - 納米壓痕

    - 納米刻蝕

    - 高電壓納米刻蝕

    - 納米操縱

    - 壓電力顯微鏡 (PFM)

     

    力測量

    - 力-距離(F-D)光譜

    - 力-體積成像

    - 熱噪聲法標定彈性系數

     NX10_AFMimages.jpg

    1.高樣品   1.5 μm臺階高度

    掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

     

    2.平樣品 藍寶石晶圓的原子臺階

    0.3nm臺階高度,掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

     

    3.硬樣品 鎢膜

    掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

    第一張圖,

    掃描第15張圖之后

     

    4. 軟樣品 膠原原纖維

    掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

    形貌圖,相圖

    -----------------------------------------------------------------------------------

    Park NX10 規格

    掃描器

    Z掃描器

    柔性引導高推動力掃描器

    掃描范圍:15μm(可選 30μm)

    分辨率:0.015 nm

    位置探測器噪聲:0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

    共振頻率:> 9 kHz (通常10.5 kHz )AFM測頭


    SICM測頭

    壓電疊堆的撓性結構

    Z掃描范圍:25 μm

    位置探測器噪聲:0.03 nm (帶寬: 1 kHz)


    XY 掃描器

    閉環控制的柔性引導XY掃描器

    掃描范圍:50 μm × 50 μm (可選 10 μm × 10 μm or 100 μm × 100 μm)

    分辨率:0.05 nm

    位置探測器噪聲:< 0.25 nm (帶寬: 1 kHz)

    離面運動:< 2 nm (掃描超過40 μm)

     

    驅動臺

    樣品容量:最大開放空間為100 mm x 100 mm,厚度最大值為20mm

    樣品重量:最重500g

    XY位移臺行程范圍:20 mm x 20 mm

    Z位移臺行程范圍:25 mm

    聚焦樣品臺行程范圍:15 mm

    影像

    樣品表面和懸臂的直觀同軸影像

    視野:480 μm × 360 μm (10倍物鏡)        

    CCD: 1 Mpixel (像素分辨率: 0.4 μm)        

    5 Mpixel (像素分辨率: 0.2 μm)

    物鏡

    10倍 (0.21NA) 超長工作距離鏡頭(1μm分辨率)

    20倍 (0.42NA) 高分辨率,長工作距離鏡頭(0.6μm分辨率)

              

    電子

    信號處理

    ADC: 18 通道

    ADC通道 (64 MSPS)

    24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 掃描器位置傳感器

    DAC:11通道

    DAC通道(64MSPS))

    20-bit DAC的 X, Y 和 Z 掃描器定位

    最大數據量:4096 x 4096像素

    集成功能

    3通道數字鎖相放大器

    彈性系數校準(熱方法)

    數據Q 控制

    連接外部信號

    20個嵌入式輸入/輸出端口

    5個TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation,and AC bias

     

    選項/模式

    標準成像

    實際非接觸模式

    接觸模式

    側向摩擦力顯微術 (LFM)

    相位成像模式

    輕敲模式

    化學性能

    功能化探針的化學力顯微鏡

    電化學顯微鏡(EC-STM和EC-AFM)

    介電/壓電性能

    靜電力顯微鏡

    動態接觸式靜電力顯微鏡(EFM-DC)

    壓電力顯微鏡 (PFM)

    高電壓PFM

    力測量

    力-距離(F-D)光譜

    力譜成像

    磁性能

    磁力顯微鏡 (MFM)

    可調MFM

    熱性能

    掃描熱顯微鏡(SThM)

    電性能

    Pinpoint 導電AFM (CP-AFM)

    I-V譜線

    掃描開爾文探針顯微鏡 (SKPM/KPM)

    高電壓SKPM

     

    QuickStep掃描電容顯微鏡(SCM)

    掃描電阻顯微鏡(SSRM)

    掃描隧道顯微鏡(STM)

    掃描隧道光譜(STS)

    光電流測繪(PCM)  

    機械性能

     

    Pinpoint模式

    力調制顯微鏡(FMM)

    納米壓痕

    納米刻蝕

    高電壓納米刻蝕

    納米操縱

     

     

    軟件

    Park SmartScan™

    AFM系統控制和數據采集的專用軟件

    智能模式的快速設置和簡易成像

    手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

     

     XEI

     AFM數據分析軟件

     獨立設計——-可獨立安裝和分析數據

     能夠生成采集數據的3D繪制

     

     配件

     手套箱

      磁場發生器

      溫控隔音罩


    售后服務:

    Park在中國北京,上海都設有辦事處,售后工程師共十位,可以全方面地滿足顧客所有需求,如有需要,請電郵或者電話聯系銷售。



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    解決方案

    • 鋼鐵 |
    • 綜合

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    典型用戶

    用戶單位 采購時間 采購數量
    • 浙江大學 2017-07-04 2
    • 天津大學 2018-07-03 1

    Park帕克原子力顯微鏡

    儀信通銀牌會員5年

    常用搭配

    • 電子束刻蝕 |
    • 掃描電鏡 |
    • 納米壓痕儀

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    綜合評分

    產品質量: 售后服務: 易用性: 性價比:

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